高真空镀金镀碳一体机

SC6000网站头图

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SC6000高真空多功能镀膜仪

SC6000T高真空镀金镀碳一体机采用双组件设计，可制备所有金属膜、ITO薄膜、高纯碳膜等，采用防污挡板设计、一键切换工作模式，镀膜效率高、颗粒度小，适合功能材料研究及电镜配套使用。

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分类：

高真空镀膜仪真空镀膜设备

主要参数
外形尺寸	320(L)×500(H)×500(D) mm	供电要求	AC220V/50Hz ＜1000W
溅射靶材	Φ50mm，厚度0.1-2mm	可用靶材	所有金属、导电材料等
工作电流	1-200mA可调（步长：1mA）	镀膜时间	1-9999s可调（步长：1s）
蒸发源	高纯碳纤维	蒸发模式	闪断模式、脉冲模式
真空室	200(L)×200(H)×175(D) mm	极限真空	≤5×10-4Pa
真空泵	旋片泵（可选干泵）+分子泵	真空泵抽速	1.1L/s+250L/s
预溅射	全自动预溅射系统，防止样品污染及组件污染、提高镀膜纯度
样品台	支持电动升降、旋转及倾斜功能，可选加热模块
其它	真空度、工作电流可实时曲线显示