描述
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主要参数 |
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外形尺寸 |
330(L)×300(H)×370(D) mm |
显示屏 |
7 英寸触摸屏、全数字显示 |
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可用靶材 |
Au、Pt、Cu、Ag、Pd等 |
靶材尺寸 |
Φ50mm，厚度0.1-2mm |
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工作电流 |
1-50mA可调 |
镀膜时间 |
1-9999s可调 |
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真空泵 |
旋片式真空泵 |
真空泵抽速 |
1.1L/s |
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真空室 |
φ130×100mm 高硅硼玻璃 |
工作介质 |
氩气或氮气（空气） |
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极限真空 |
≤0.5Pa |
工作真空 |
1-20Pa可调 |
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供电 |
AC220V/50Hz |
额定功率 |
500W |
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样品台 |
Φ80mm，可放置14个标准样品座，与靶材距离20-45mm可调节，标配旋转样品台 |
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其它 |
软硬件互锁、过流保护、真空保护，真空、电流可实时曲线显示 |
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